セミコンジャパン2005 : 堀場アドバンスドテクノ


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■HORIBA JOBIN YVON製品

Front & Back Ends　(フロント&バックエンド)

■	Low-concentration Hydrofluoric Acid Monitor 低濃度フッ酸濃度モニタ HF-960M
■	Carbon Sensor Resistivity Meter カーボンセンサ比抵抗計 HE-960RW-GC
■	Conductivity Meter (Low density type) SLIM48導電率計(低濃度タイプ) HE-480C
■	Hydrofluoric Acid monitor フッ酸モニタ CM-200/210 Series
■	Chemical Solution Concentration Monitor 高速応答薬液濃度モニタ CS-100/100F1 Series
■	Chemical Flow Controller 薬液流量コントローラ Model6500

■	Dissolved Ozone Monitor 溶存オゾンモニタ HZ-960
■	Conductivity Meter (High density type) SLIM48導電率計(高濃度タイプ) HE-480H
■	TMAH Conductivity Meter TMAH測定導電率計 HE-960TM
■	Fiber Type Chemical Solution Concentration Monitor ファイバータイプ薬液濃度モニタ CS-100F1
■	Chemical Solution Concentration Monitor 薬液濃度モニタ CS-100
■	Chemical Pressure Transducer 薬液圧力センサ Model4000

■	High-sensitivity Silica Monitor 高感度シリカモニタ SLIA-300
■	Dissolved Oxygen Monitor 溶存酸素モニタ SD-300

■	In-line Particle Sensor インラインパーティクルセンサ PLCA-801
■	NH₃・H₂S Monitor for Use in Clean Room クリーンルーム内NH₃・H₂Sモニタ

■	Trace Ammonia Gas Monitor 微量アンモニアガスモニタ CG-1000 (参考出品)
■	Reticle/Mask Particle Detection System レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD2

■	Reticle/Mask Particle Detection System レティクル/マスク異物検査装置 PR-PD3
■	FPD Mask Particle Detection System FPD用マスク異物検査装置 PR-PD4

Fluid Control　(流体制御)

Gas Control　(ガス制御)

■	Mass Flow Module マスフローモジュール D100
■	Pressure Insensitive Mass Flow Controller プレッシャーインセンシティブマスフローコントローラ SEC-Z700
■	Multi Range Multi Gas Digital Mass Flow Controller マルチレンジ/マルチガスデジタルマスフローコントローラ SEC-Z500
■	Digital Mass Flow Controller デジタルマスフローコントローラ SEC-V100D

■	Ultra-compact Mass Flow Controller ウルトラコンパクトマスフローコントローラ SEC-G100
■	Wafer Back Side Cooling System ウェハ裏面冷却システム GR-100
■	Auto Pressure Regulator オートプレッシャレギュレータ UR-7300
■	Piezo Valve ピエゾバルブ PV-1000

Liquid Control　(液体制御)

■	Digital Liquid Mass Flow Meter/Controller 液体微少マスフローメータ/コントローラ LF-F
■	Digital Liquid Mass Flow Meter/Controller 液体微少マスフローメータ/コントローラ LV-F
■	Mixed Injection ミックスドインジェクション MV-1000/MI-1000

■	Direct Injection ダイレクトインジェクション VC-1000
■	Compact Baking System コンパクトベーキングシステム LSC-A100
■	Liquid Source Auto Recharge System オートリチャージシステム LU-A100

Vacuum Control　(圧力制御)

■	Residual Gas Analyzer 残留ガス分析計 RGA/MICROPOLE™ System

■	Capacitance Manometer キャパシタンスマノメータ CMM/VG

Inspection & Measurement　(計測検査)

Film Thickness Measurement
(膜厚計測)

■	Full Automatic Ultra Thin Film Analyzer 全自動超薄膜計測システム UT-300

■	UV-Visible Ellipsometer 紫外可視エリプソメータ MM-16

Stress Measurement
(応力測定)

■	Full Automatic Raman Analyzer 全自動ラマン分光測定装置 RS-3000
■	Nano-area Stress Measuring Microscope ナノ応力顕微鏡 (参考出品)

■	Thumb-size Scanning Electron Microscope 親指サイズ電子顕微鏡 (参考出品)

Material Analysis
(素材解析)

■	Photoluminescence Spectroscopy フォトルミネッセンス分光装置 LabRAM HR 800-PL

APC　(アドバンスドプロセスコントロール)

End-point monitor
(エンドポイント)

■	Real Time Interferometric Film Thickness Monitor 干渉式リアルタイム膜厚モニタ DIGILEM-G120
■	Plasma Diagnosis Endpoint Monitor プラズマ発光分析エンドポイントモニタ (装置組込型) DIGICPMJ

■	Plasma Diagnosis Endpoint Monitor プラズマ発光分析エンドポイントモニタ (装置組込型) CPM100
■	Plasma Diagnosis Endpoint Monitor プラズマ発光分析エンドポイントモニタ (高分解能測定用) PlasmaScope

Gas Monitoring
(ガスモニタリング)

■	FTIR Gas Analyzer FTIRガス分析計 FG-100A

■	In-line Gas Monitor インラインガスモニタ IR-150

Fluid Control　(流体制御)

■	Chemical Flow Meter 薬液流量メータ Model4400

Inspection & Measurement　(計測検査)

■	Laser Scattering Particle Size Distribution Analyzer レーザ回折/散乱式粒度径分布測定装置 LA-950

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