AEC/APC begins with reliable analysis.
AEC/APCは「分析からはじまる。
いま半導体生産システムにおいては
さらなるインテリジェント化、高効率化が求められています。
AEC/APCへの期待。
それは、より高度なセンシングとアナリシスで、
装置システム・プロセス状態を緻密・正確に把握すること。
HORIBAは自動車、医用、環境・計測をはじめ、
幅広く産業界で培った分析ノウハウを、半導体産業へ応用展開。
総合的な分析技術が、AEC/APCのより的確な運用を支えます 。
