半導体産業展 SEMICON China 2008
出展情報 (2008.3.18〜3.20)

上海にて開催される今回のSEMICON China 2008には、発売を開始いたしました枚葉洗浄に適した薬液モニタ（新製品）をはじめ、耐薬性の高さを誇るカーボンセンサ比抵抗計など、一歩先をゆくAPC構築に貢献する製品を出品いたします。


会　 期：2008年3月18日(火)〜3月20日(木)
　　　    　9時〜17時(最終日のみ16時まで)
会 　場：Shanghai New International Expo Centre
　　　　　 (上海新国際見本市会場、SNIEC)
　　　 　　HORIBA ブースNo.5242, 5243 (West HALL 5)


【出展製品】

ウェット洗浄（フロント＆バックエンド）

● 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ HF-960M
● カーボンセンサ比抵抗計 HE-960R-GC

• （2チャンネル） HE-960RW-GC

● 導電率計 (高濃度用) HE-480H
● 導電率計 (低濃度用) HE-480C
● TMAH用 導電率計 HE-960TM
● 溶存オゾンモニタ HZ-960

● 硫酸/過酸化水素水中 微量フッ酸濃度モニタ HF-700

ユーティリティ

● 高感度シリカモニタ SLIA-300
● 2チャンネル比抵抗計 HE-960RW

● 溶存酸素モニタ SD-300

堀場製作所、堀場エステック製品も多数出品しております。


【ご参考】

SEMICON China 2008 (公式サイト)