半導体産業展 SEMICON West 2007
出展情報 (2007.7.17〜7.19)
米国で開催される今回のSEMICON West2007には、枚葉洗浄に適した薬液モニタ（新製品）をはじめ、耐薬性の高さを誇るカーボンセンサ比抵抗計など、一歩先をゆくAPC構築に貢献する製品を出品いたします。
会 期：2007年7月17日(火)〜7月19日(木)
10時〜18時(最終日のみ16時まで)
会 場：Moscone Center
 HORIBA ブースNo.714 (South Hall)
所在地：
747 Howard Street, San Francisco, California U.S.A.
【出展製品】
 ウェット洗浄（フロント＆バックエンド）
● 低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ HF-960M
● カーボンセンサ比抵抗計 HE-960R-GC
● 導電率計 (高濃度用) HE-480H
● 導電率計 (低濃度用) HE-480C
● TMAH用 導電率計 HE-960TM
● 溶存オゾンモニタ HZ-960
● 硫酸/過酸化水素水中 微量フッ酸濃度モニタ HF-700
ユーティリティ
● 高感度シリカモニタ SLIA-300
● 2チャンネル比抵抗計 HE-960RW
● 溶存酸素モニタ SD-300
● パーティクルセンサ PLCA-800シリーズ
堀場製作所、堀場エステック製品も多数出品しております。
【ご参考】
SEMICON West 2007 (公式サイト)
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