半導体・FPD
分類
超純水プロセス
ウェットプロセス
フッ酸濃度モニタ
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低濃度フッ酸、塩酸、アンモニア濃度モニタ HF-960M
硫酸/過酸化水素中 微量フッ酸濃度モニタ HF-700
低濃度フッ酸濃度モニタ(電磁誘導方式) CM-200/210
比抵抗計・センサ
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比抵抗計 HE-480R
2チャンネル比抵抗計(超純水向け) HE-960RW
2チャンネル比抵抗計(超純水向け) OE-96RW
カーボンセンサ比抵抗計 HE-960R-GC
IPA比抵抗計 IP-960
比抵抗センサ(超純水向け) ERFシリーズ
導電率計・センサ
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導電率計(低濃度タイプ)HE-480C
導電率計(高濃度タイプ)HE-480H
2チャンネル導電率計(低濃度タイプ)HE-960CW
2チャンネル導電率計(低濃度タイプ)OE-96CW
TMAH用 導電率計 HE-960TM
オゾンモニタ
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インライン型 溶存オゾンモニタ OZ-96i
溶存オゾンモニタ OZ-96
ニュース
半導体製造工程におけるポリマー除去用薬液の管理に最適な【硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度モニタ HF-700】を発売 (2007.12.03)
超純水プロセス関連製品
高感度シリカモニタ SLIA-300
ポータブルDOモニタ SD-300
パーティクルセンサ PLCA-800
2チャンネル比抵抗計 HE-960RW
純水・超純水製造プロセスと関連機器
ウェットプロセス関連製品
硫酸/過酸化水素中 微量フッ酸濃度モニタ HF-700
低濃度 フッ酸/塩酸/アンモニア濃度モニタ HF-960M
カーボンセンサ比抵抗計 HE-960R-GC
TMAH用 導電率計 HE-960TM
インライン型 溶存オゾンモニタ OZ-96i
IPA比抵抗計 IP-960
ウェットプロセスと薬液濃度計測関連機器
排水処理
簡易フッ化物イオンモニタ IF-250
自動全窒素・全りん測定装置 PN-100シリーズ
有機性汚濁物質自動計測器 CW-150
その他の排水処理関連機器
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