エッチングプロセス後のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸・過酸化水素・微量フッ酸の水溶液では、ppmレベルのフッ酸濃度管理が非常に重要となります。濃度が低ければポリマー除去効果が薄れ、濃度が高ければ過剰エッチングを引き起こします。HF-700を用いることで、硫酸・過酸化水素中のppmオーダーのフッ酸濃度を安定して連続測定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。

• 自動的にpH調整を実施し、HF濃度の連続測定が可能
• 応答を重視したモード(NORMAL MODE)、薬品消費を重視したモード(ECO MODE)、連続測定モード(CONT. MODE)　間欠測定モード(INTERMIT MODE)の4種の運転モードを有し、必要に応じた最適な測定が可能
• pH電極、イオン電極は簡単に交換が可能

低濃度フッ酸/塩酸/アンモニア濃度モニタ HF-960M
フッ酸濃度モニタ CM-200/210
SPM濃度モニタ CS-150

セミコンジャパン2007（出展製品）

半導体・FPD分野関連製品一覧

【プレスリリース】ポリマー除去用薬液の管理に最適な「硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度モニタ」を発売（2007.12.03）