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	OZ-96i
	仕様

インライン型溶存オゾンモニタ

OZ-96i

半導体製造工程のオゾン水濃度管理に最適

半導体製造プロセスにおける洗浄、酸化膜形成等に使用されるオゾン水濃度を測定します。主配管に直接取り付けて、連続測定ができるオゾン水濃度モニタです。測定のためのバイパスラインは必要ありません。オゾン発生装置やUse Pointにより近い測定を可能にします。

ライン内への取付可能
3種の配管径を選択可能
任意設定が可能な伝送出力
小数点以下桁数の切替可能
ゼロ点安定性
コンパクトなセンササイズ
DC24V電源
0.5MPaの耐圧性
リモートゼロ校正機能
接液部材質にPFA/石英ガラス/PTFEを使用

半導体・液晶用製品案内 (New48/96タイプ)
インライン型溶存オゾンモニタ OZ-96i

半導体および液晶用洗浄プロセスに対応、低濃度から高濃度までカバー

高耐薬性でフォトレジスト現像液のTMAHの濃度管理に最適

低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度かつ安定に測定しワンバス洗浄に最適、

ウェットプロセスにおける希釈硫酸/過酸化水素中の微量フッ酸濃度測定を実現

半導体製造工程や各種産業分野でのフッ酸濃度管理に対応

蒸気乾燥装置の性能を維持、発揮するためのIPAを高純度に管理

	半導体製造工程におけるポリマー除去用薬液の管理に最適な【硫酸・過酸化水素中の微量フッ酸濃度モニタ】を発売(2007.12.03)

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