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	PLCA-800
	仕様

パーティクルセンサ

PLCA-800

概要

PLCA-800は半導体の製造プロセスで用いられるさまざまな液体中の微粒子の個数をカウントするセンサーです。特にウェットクリーニングプロセスは、パーティクル除去に有効なプロセスであり、リアルタイムで結果の得られる液体中のパーティクルセンサが必要不可欠となってきています。薬液中のパーティクルをインラインで測定するのに最適なセンサです。

特長

プロセス機への組み込みが可能。
最小可測粒径0.1μm、0.2μm。2タイプを用意。
インライン測定により、試料の微妙な変かに瞬時に対応。

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