ポータブルDOモニタ
SD-300
ポータブルで高感度だから、使いやすくて高性能
概要
半導体分野における超純水中のDO濃度の高精度測定・モニタを実現
半導体の集積度が増加する傾向から、ウエハの洗浄に用いられる超純水の水質向上が求められています。中でも、超純水に含まれる微量な溶存酸素(DO)はウエハ表面の酸化膜形成の要因といわれ、その低減要望が非常に強くなってきています。そこでHORIBAは超純水中のDO濃度を高精度・高速に測定するDOモニタSD-300を開発。高感度シリカモニタやパーティクルセンサとともにお使いいただける、超純水製造ラインでの水質モニタリングに最適な製品です。またポータブルサイズで持ち運びやすいため、どのような現場にもフィットします。
特長
●どんな現場でも使いやすいポータブルサイズ
小型、ポータブル。持ち運びやすいデザインです。
●ワイドレンジで、かつ高感度な測定を実現
測定レンジは、0〜20μg/L、0〜200μg/L、0〜2mg/L、0〜20mg/Lの4レンジから選択できます。
●高速応答を実現
●フラットパネルを採用し、クリーンルーム内の使用にも最適
●センサは内部液交換タイプで長寿命
●アナログ・シリアル出力を標準装備
■配管接続例
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