半導体製造プロセス向超純水管理用
高感度シリカモニタ

最高感度0.01μg/L(0.01ppb)で、
極低濃度のシリカを測りたいという要求に確実にお答えします

概要

特長

極低濃度に対応する高感度化を実現するために光ファイバーの技術を応用、約1mの長い光路長を確保しました。また高速5分測定時0〜2μg/Lレンジにおいて、フルスケール±2%の繰り返し精度を保証しています。

「長光路長測定セル」のフレキシブルな構造は、画期的なコンパクト設計も実現。デスクトップ型なので、小さなスペースをはじめ様々な設置条件に対応可能です。移動式としての仕様も可能になりました。

試薬の消費量を従来の1/5に低減するため、反応セルを改良して測定セルと分離させ、測定セルをチューブ型にしました。「長光路長測定セル」を採用することで、試薬のランニングコストが大幅に削減できます。

試薬だけでなく、試料水の消費量も低減しました。「長光路長測定セル」を採用することにより、試料水である高価な超純水の消費量を従来より60%削減。堀場アドバンスドテクノのシリカモニタは現場のコストダウンにも貢献します。